昊天宸科技 | 視覺檢測設備在晶圓外觀尺寸檢測中的應用

晶圓是制作IC最基礎的半導體材料，晶圓的質量決定著IC成品的質量好壞。在處理晶圓之前，對晶圓進行嚴格的外觀尺寸檢測是非常重要的環節，有利于后續的加工，提高晶圓加工效率。本篇文章，昊天宸小編將為大家介紹視覺檢測設備在晶圓外觀尺寸檢測中的應用。

晶圓常見的三類外觀缺陷

晶圓在制造的過程中，包括離子注入、拋光、刻蝕等幾乎任意一個環節都會由于技術不精確或外在環境污染等而形成缺陷，從而導致芯片最終失效。晶圓常見的外觀缺陷主要有三類：

1、冗余物：包括納米級的微小顆粒、微米級的灰塵、相關工序的殘留物等。

2、晶體缺陷：滑移線缺陷，堆垛層錯等。

3、機械損傷：劃痕等，一般產生于晶圓制造過程中拋光、切片等步驟中，由化學機械研磨所致，是一種較為嚴重的晶圓表面缺陷，能夠對集成電路芯片造成極為嚴重的影響。

視覺檢測設備在晶圓外觀尺寸檢測中的應用

為了防止存在缺陷的晶片流入后面的工序，必須進行嚴格的檢測。相較于傳統人工檢測而言，機器視覺檢測具有精度高、效率高、可連續性以及非接觸式避免污染等優勢，能夠高效識別晶圓表面缺陷并分類、標記，輔助晶片分揀。

視覺檢測設備可對晶圓尺寸進行測量，檢測劃痕、凹凸、破損、裂痕、氣孔、異物、污染、鎳層不良等外觀缺陷。

深圳市昊天宸科技有限公司是一家集研發、專屬定制及銷售為一體的國家級高新科技企業，業內領先的生產線設備升級改造方案提供商。自成立以來，公司就一直專注于機器視覺檢測領域，自主研發生產機器視覺檢測設備、視覺檢測自動化設備、機器視覺外觀檢測設備、光學自動化檢測設備、CCD視覺檢測設備、光學篩選機、機器視覺檢測系統，同時提供定制化機器視覺檢測解決方案，為各大企業廠家提供非標自動化檢測設備，針對新能源電池、PCB線路板、精密部件、電子元器件等領域產品的尺寸測量、外觀缺陷、字符識別等方面進行自動化檢測，幫助客戶提高生產效率，提高產品質量，降低人工成本，增強市場競爭力。